● 구입가격 : 84,260,000원
● 시설장비 구성 및 성능
- 시료 이송거리 : 25mm 25mm(Manual Micrometer를 이용)
- 최대 X,Y 측정 영역 : 50μm)
- 해상도 : < 0.15nm(Low Voltage Mode : <0.02nm)"
● 상세사용료
- Tip 지참(Tip 사용시 40,000원)
● 기기사용 중 본인 부주의로 인한 고장은 책임지고 보상해야 함
● 관리담당자 : 민치홍 과장 ☎070-7836-5319