● 구입가격 : 210,100,000원

 

● 시설장비 구성 및 성능

- Resolution : 3.0nm(at 30kV), 10nm(at 3kV, SE Image)

- Magnification : x15 ~ x300,000

- Image Shift : ±50um

- Sample Size : Hofizontal : 130mm, Vertical : 60mm

- Vacuum system : Turbo molecular pump(3분 이내 진공가능)

- Optional Detector : EDS(Energy dispersive spectroscopy)

 

● 상세사용료

- EDS - Mapping / Line Profile(시료) : 20,000원 / 시료

- Au 코팅 : 20,000원 / 회

 

● 기기사용중 본인 부주의로 인한 고장은 책임지고 보상해야 함

 

● 관리담당자 : 남정섭 과장 ☎042-861-1685