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보유기술 정보
기술명 | [출원] 넓은 에너지갭을 가지는 반도체용 고온 용량-전압(C-V) 측정 시스템 | ||||||
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출원번호 | 10-2023-0194928 | 출원일 | 2023년 12월 28일 | ||||
기술요약정보 | 본 발명은 넓은 에너지갭을 가지는 반도체용 고온 용량-전압(C-V) 측정 시스템에 관한 것으로, 특히 넓은 에너지갭을 가지는 반도체인 탄화규소(SiC)와 같은 MOS 구조를 평가하기 위해 용량-전압을 측정하는, 넓은 에너지갭을 가지는 반도체용 고온 용량-전압 측정 시스템에 관한 것이다. | ||||||
대표발명자 |
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