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보유기술 현황



보유기술 현황

기술명 [출원] 넓은 에너지갭을 가지는 반도체용 고온 용량-전압(C-V) 측정 시스템
출원번호 10-2023-0194928 출원일 2023년 12월 28일
기술요약정보 본 발명은 넓은 에너지갭을 가지는 반도체용 고온 용량-전압(C-V) 측정 시스템에 관한 것으로, 특히 넓은 에너지갭을 가지는 반도체인 탄화규소(SiC)와 같은 MOS 구조를 평가하기 위해 용량-전압을 측정하는, 넓은 에너지갭을 가지는 반도체용 고온 용량-전압 측정 시스템에 관한 것이다.
대표발명자

이름

김광호

소속

청주대학교 에너지융합공학과
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