● 구입가격 : 490,600,000원

● 세부사용료

   SEM 분석 : 54,000원 / 시간

   Pt, Au 코팅 : 20,000원 / 회

   EDS(Point, Mapping, Line) : 5,000원 / 회

 

● 시설장비 구성 및 성능

- Resolution : 1.0nm(15kV), 1.5nm(1kV, GB모드), 분석 3.0nm(15kV, WD 8mm, 프로브 전류 5nA)
- Magnification : X25 ~ X19,000(LM 모드)
                  X130 ~ X1,000,000(SEM 모드)
- Accelerating Voltage : 0.1 ~ 30kV
- Specimen Stage : Eucentric, 5 axis montor
- Probe Current : 1pA to MAX 200nA
- Evacuation system : SIP 2set fo rGUN, TMP, RP Fore-line Trip
- Image Detector : SE Duo Detector with r-filter / Retractable BSE Detector
- EDS System : 64bit Microanalytical Processor with SEM image acquisition system

 

 

● 기기사용 중 본인 부주의로 인한 고장은 책임지고 보상해야 함.

 

● 관리담당자 : 전홍필 책임 ☎02-511-5501